点击图片查看原图
气体质量流量计因有控制器精度高，重复性好，反应速度快。它适合半导体，CVD，扩散，真空镀膜，色谱、光纤熔炼，分析仪器，燃料电池，液晶屏，EL,生物工程，等离子蚀刻，环境测试，燃烧气体控制，试验设备，焊接，微反应装置、配气和混气系统等各个环节、各个制造过程中的流量控制。
气体质量流量计,美国艾博格AALBORG进口气体质量流量计
操作原理：
被测气体分别流经两个层流区，一路通过主流量管道，另一路通过毛细测量管。两个管路的设计保证流体处于层流状态，因此两个管路流量比是恒定的。两精密的温度感应绕组在测量管上被加热，当有流量产生时，被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系，采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。根据被测气体的质量流量，输出0-5 V D C或者4-20mA信号。经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀，质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统，使流量稳定在设定的流量值上。在一定范围内温度和压力的变化不会影响流量测量值。
概述：
GFC/GFM系列用于测量/控制气体质量流量。本品外壳坚固耐用，精确度高，是一款多功能而且经济实用的流量测量产品。可选铝或不锈钢外壳，可选显示工程单位（标准）或百分比。外形设计包括一个置于传感器顶部的LCD显示模块，这个显示模块可倾斜90度以上以方便读数。它用一个标准插头与传感器连接，也可以分开独立安装。OEM的应用可提供无LCD显示的产品。GFC/GFM质量流量控制、质量流量计的测量范围是10sccm到1000sL/min（N2）；用1/4"，1/8"，3/8"和1/2"卡套螺纹或3/4"FNPT连接，可选其他连接方式。该仪表可以作为台式设备或者用螺丝在平板上固定。电源电路采用保险丝和极性保护设计。
性能特征：
品牌：美国艾博格Aalborg（成立于1982年，专业从事质量流量计研发和生产）
精确度（包括线性度）：±1.5 %满量程；±1%满量程（标定精度）在给定的温度与压力值下。
重复性：±0.5%满量程（另外配有高精度系列）
量程范围：0-1000升/分钟
响应时间：在满量程25-范围内，2秒钟内达到2%精度。
温度系数：0.15%满量程/℃
压力系数：0.01%满量程/psi（0.07bar）
气体和周围温度：32 F -122 F （5℃-50℃）
产品耐压：100L以下70公斤，100-1000L耐压34.5公斤
输出信号：线性度0-5Vdc,4-20MA电源：+12 Vdc ；200ohms。+24Vdc可选
时间恒量：800ms
气体压力：1000 psig（70bar）。推荐20 psig（1.4bar）
流体接液材质：A：GFM铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
B：GFM17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环、可选氯丁橡胶圆环。
安装：水平、垂直
连接：GFC/GFM17和37：1/4"卡套螺纹
VCR或1/8" 卡套螺纹可选（GFM17）
GFC/GFM47：3/8" 卡套螺纹
GFC/GFM57：3/8" 卡套螺纹
GFC/GFM67：1/2" 卡套螺纹
GFC/GFM77：3/4" 卡套螺纹
VCR或3/4" 卡套螺纹可选（GFM77）